动态通道盒用于通过机械/电磁门互锁过程从不受控制环境向受控环境分离转移材料,确保同时只开一扇门这一过程有助于避免两个区域交叉污染
系统动态插件全域提供自装单元,安装在干净室入口
动态传递盒帮助最小化微粒污染进入净室并保证减少运算符流量
设备和材料可以通过电机动接通盒传递到净室,因为电机插锁系统防止双门同时开通
高价维护房间清洁性,易安装并适应不同工作环境